1、极低的蒸气压

这是真空泵油的重要的性能，由于真空泵要求真空度很高，一般用石蜡基窄馏分润滑油，对于扩散真空泵，还可使用蒸气压很低的硅油或其他合成油。

2、合适的粘度和良好的粘温特性

真空泵腔内容积不断变化而形成排气作用，要求润滑油应具有合适的粘度和粘温特性。

3、良好的热氧化安定性

真空泵不断向高速度发展，由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高，油品很容易氧化分解，尤其扩散泵往往处于很高的温度环境下工作，使系统内蒸气压升高，真空度降低，因此要求真空泵油具有良好的热氧化安定性。

4、良好的抗腐蚀性和抗乳化性

真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，会与油发生化学反应，腐蚀泵内零件;吸入空气中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金属腐蚀，所以要求具有良好的抗腐蚀和抗乳化性。

5、较高的闪点

主要要求真空泵中不携带轻质组分，以免影响油品的饱和蒸气压。

6、较低的极限压力

极限压力是真空泵油重要的使用性能指标以了解在很低真空极限压力下真空泵的极限压力。